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德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i用于高校实验室使用
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德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i用于高校实验室使用

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加工定制:否品牌:SPS(POLOS)型号:SPIN150i
电源电压:50V功率:60W

德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i用于高校实验室使用

一、SPS(POLOS)

SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常,您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶,但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜,如嵌段共聚物(BCP),如PDMS和PMMA,或作为低成本的溶胶-凝胶方法,例如旋涂ZnO薄膜。同时,POLOS旋涂机提供***的工艺:在触摸屏上轻松直观的编程,***的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺,一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的的实验室旋涂机


二、SPS(POLOS)型号介绍

SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

SPS(POLOS) Part nr: 27852 

SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  


二、SPS(POLOS)产品分类

SPS(POLOS) 旋涂机

易于安装、可重复的旋涂


SPS(POLOS)无掩模光刻

精度的纳米结构


SPS(POLOS)面罩矫正器

高产值和用户友好


SPS(POLOS)电炉

***的温度控制


电影表征

超快速和准确的晶圆映射

光刻胶

适用于***性应用

喷涂机

高精度纳米颗粒涂层


晶圆处理

安全运输和储存您的晶圆


补充设备

您可能需要的其他工具

三、SPS(POLOS)产品介绍

1、SPS(POLOS)旋涂

POLOS旋涂机提供***的工艺:通过大型彩色触摸屏控制器进行简单的分步配方编程,USB连接或从您自己的PC下载,***的程序/步骤和图形表示。它们还提供可重复的旋涂工艺,一次又一次。可作为单台台式晶圆旋涂机提供,但我们也提供全系列湿站解决方案。联系我们获取更多信息!

SPS(POLOS)型号介绍:

SPS(POLOS)旋涂机

150 毫米

200 毫米

300 毫米

450 毫米

>500 毫米




德国SPS(POLOS)旋涂机SPIN150i用于高校实验室使用

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