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德国 SPS(POLOS)实验室旋涂机 SPIN200i NPP用于旋涂聚合物薄膜
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德国 SPS(POLOS)实验室旋涂机 SPIN200i NPP用于旋涂聚合物薄膜

德国SPS(POLOS)实验室旋涂机SPIN200iNPP用于旋涂聚合物薄膜

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产品特性:SPS(POLOS)加工定制:否品牌:SPS(POLOS)
型号:SPIN200i NPP

德国 SPS(POLOS)实验室旋涂机 SPIN200i NPP用于旋涂聚合物薄膜


一、SPS(POLOS)公司介绍

SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常,您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶,但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜,如嵌段共聚物(BCP),如PDMS和PMMA,或作为低成本的溶胶-凝胶方法,例如旋涂ZnO薄膜。同时,POLOS旋涂机提供***的工艺:在触摸屏上轻松直观的编程,***的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺,一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的的实验室旋涂机


二、SPS(POLOS)型号介绍

SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i 

SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP

SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less) 

SPS(POLOS) Part nr: 27852 

SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)  


二、SPS(POLOS)产品分类

SPS(POLOS) 旋涂机

易于安装、可重复的旋涂


SPS(POLOS)无掩模光刻

精度的纳米结构


SPS(POLOS)面罩矫正器

高产值和用户友好


SPS(POLOS)电炉

***的温度控制


三、SPS(POLOS)产品介绍

POLOS单晶圆旋涂机SPIN200i分为:天然聚丙烯

聚四氟乙烯两种材质


POLOS SPIN200i 单晶圆旋涂机是一种***的系统,可提供***、可重复的过程控制。不言自明的图标使其易于操作,即使对于新用户也是如此。


?200 mm 或 6“ x 6” 方形基板


材料:天然聚丙烯(NPP)


标准系列

POLOS SPIN200i是一款多功能的高质量基材旋涂机。它专为研发和小批量生产而设计。空气动力学高效的腔室增强了均匀性,而天然聚丙烯或 PTFE 结构确保了易于清洁的无金属、***的工艺区域。用于手动或自动(可选)化学品分配的桌面版本。



德国 SPS(POLOS)实验室旋涂机 SPIN200i NPP用于旋涂聚合物薄膜

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