| 产品特性：电机 | 加工定制：否 | 品牌：SPS(POLOS) |
| 型号：SPS(POLOS) | 电源电压：230V |
德国SPS(POLOS）SPIN150i聚四氟乙烯材质旋涂机用于高校实验室
一、SPS(POLOS)公司介绍
SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。同时，POLOS旋涂机提供***的工艺：在触摸屏上轻松直观的编程，***的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺，一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的的实验室旋涂机
二、SPS(POLOS)型号介绍
SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i
SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP
SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less)
SPS(POLOS) Part nr: 27852
SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)
二、SPS(POLOS)产品分类
SPS(POLOS) 旋涂机
易于安装、可重复的旋涂
SPS(POLOS)无掩模光刻
精度的纳米结构
SPS(POLOS)面罩矫正器
高产值和用户友好
SPS(POLOS)电炉
***的温度控制
电影表征
超快速和准确的晶圆映射
光刻胶
适用于***性应用
喷涂机
高精度纳米颗粒涂层
晶圆处理
安全运输和储存您的晶圆
补充设备
您可能需要的其他工具
三、SPS(POLOS)产品介绍
1、SPS(POLOS)旋涂
POLOS旋涂机提供***的工艺：通过大型彩色触摸屏控制器进行简单的分步配方编程，USB连接或从您自己的PC下载，***的程序/步骤和图形表示。它们还提供可重复的旋涂工艺，一次又一次。可作为单台台式晶圆旋涂机提供，但我们也提供全系列湿站解决方案。联系我们获取更多信息！
德国SPS(POLOS)型号介绍：
德国SPS(POLOS)旋涂机150 毫米
德国SPS(POLOS)200 毫米
德国SPS(POLOS)300 毫米
德国SPS(POLOS)450 毫米
德国SPS(POLOS)>500 毫米
1.1、POLOS单晶圆旋涂机SPIN150i分为：天然聚丙烯
聚四氟乙烯两种材质
高品质旋涂机专为MEMS，半导体，PV，微流体等领域的研发和小批量生产而设计。
?150 mm 或 4“ x 4” 方形基板
POLOS SPIN150i参数：
材料：天然聚丙烯（NPP）
POLOS SPIN150i是一款多功能的高质量基材旋涂机，由PTFE或NPP制成。它专为研发和小批量生产而设计。用于手动或自动（可选）化学品分配的桌面版本。
适用于涂层、清洁、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 和其他工艺
1.2、POLOS SPIN150i规格：
高达 6“ （150 mm） 晶圆
高达 4“ x 4” （100 mm） 方形基板
材料：天然聚丙烯（NPP）
通过大型彩色触摸屏进行简单的分步配方编程
带注射器支架的透明盖子，用于中央分配
电磁安全盖锁
N2扩散器，用于在过程中清除N2
12.000 rpm（取决于基板/卡盘）
高加速度和高精度
手动化学品分配
CW 和 CCW 轮换
（可拆卸）带有可定制图标的彩色触摸屏
***的程序存储，每个配方有多个步骤
接口
包括
1 x A-V36-S45-NPP-HD 真空吸盘
1 x D-V10-S50-NPP-HD 片段适配器
1.3、POLOS SPIN150i供货范围：
POLOS SPIN150i NPP的供货范围：
内径 160 毫米的碗，适用于 6 英寸（150 毫米）晶圆， 4 英寸 x 4 英寸（100 毫米）基板，材料天然聚丙烯 NPP；
手动化学分配：实施盖子中的单注射器支架；
彩色触摸屏；
USB端口；
电缆；
吸盘和适配器：A-V36-S45-PP-HD 真空吸盘 + D-V10-S50-PP-HD - 碎片适配器；
一组腔体内衬。
德国SPS(POLOS）SPIN150i聚四氟乙烯材质旋涂机用于高校实验室
