| 加工定制：否 | 品牌：SPS(POLOS) | 型号：spin150X |
| 电源电压：230V | 功率：50W | 空气源：12 |
| 吐出时间调节：60S | 吐出频率：12次/分 | 规格：spin150X |
SPS(POLOS)旋涂机spin150X利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度薄膜
一、SPS(POLOS)公司介绍
SPS(POLOS)旋涂机主要用于利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度的薄膜。通常，您在半导体晶圆上旋转涂光刻胶，但我们的POLOS旋涂机也用于旋涂聚合物薄膜，如嵌段共聚物（BCP），如PDMS和PMMA，或作为低成本的溶胶-凝胶方法，例如旋涂ZnO薄膜。同时，POLOS旋涂机提供***的工艺：在触摸屏上轻松直观的编程，***的程序/步骤和图形表示。以及可重复的旋涂工艺，一次又一次。这使得POLOS旋涂机成为您可以买到的的实验室旋涂机
二、SPS(POLOS)型号介绍
SPS(POLOS) Part nr: 41096 POLOS SPIN150i
SPS(POLOS) Part nr: 41387 POLOS SPIN200i NPP
SPS(POLOS) Part nr: VP-230V Vacuum Pump (Oil-less)
SPS(POLOS) Part nr: 27852
SPS(POLOS) Fragment Adapter (D-V2.5-S50-PP)
二、SPS(POLOS)产品分类
SPS(POLOS) 旋涂机
易于安装、可重复的旋涂
SPS(POLOS)无掩模光刻
精度的纳米结构
SPS(POLOS)面罩矫正器
高产值和用户友好
SPS(POLOS)电炉
***的温度控制
电影表征
超快速和准确的晶圆映射
光刻胶
适用于***性应用
喷涂机
高精度纳米颗粒涂层
晶圆处理
安全运输和储存您的晶圆
补充设备
您可能需要的其他工具
三、SPS(POLOS)产品介绍
POLOS SPIN150x
POLOS SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底
旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产
而设计。台式型号可手动或自动（可选）分配化学
品
POLOS SPIN150x腔体规格
外壳材质 天然聚丙烯（NPP）
底物直径 可用 6” (150 mm) 晶圆
可用 4” x 4” (100 mm) 底物
POLOS SPIN150x适用范围:
? 涂层
? 清洗冲洗/烘干
? 显影
? 刻蚀
? PDMI
? 其他程序
硬件规格：
液体过滤疏水阀
?
? 独特的外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式
用于注射器或喷嘴的中心注射支架
? 盖锁和真空传感器确保用户安全
? 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）
? USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件
更新
POLOS SPIN150x驱动装置规格：
? 间接无刷驱动装置
? 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）
? 高加速度、高精度
? 加速/减速 1-30.000 RPM
? 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项
SPS(POLOS)旋涂机spin150X利用向心力制造厚度低于 10 nm 的均匀高质量厚度薄膜
